Stanovení nejistoty měření pro interferometrii v bílém světle na drsném povrchu

Při měření tvaru předmětu pomocí interferometrie v bílém světle se používá obvykle Michelsonův interferometr s širokopásmovým zdrojem světla. Předmětem našeho výzkumu bylo zjistit, jakým způsobem závisí nejistota měření interferometrie v bílém světle na parametrech měřicí soustavy. Znalost takové závislosti je důležitá, protože umožňuje správné nastavení parametrů. Podle očekávání roste například nejistota měření s velikostí vzorkovacího kroku. Na druhé straně se ovšem při malém vzorkovacím kroku prodlužuje doba měření. Důležité je, aby parametry měřicí soustavy byly nastaveny optimálně, to znamená tak, aby bylo možné měřit s pokud možno nízkou nejistotou měření, ale aby nevhodně nastavené parametry neprodlužovaly zbytečně dobu měření. Více informací v tiskové zprávě (*.pdf)Při měření tvaru předmětu pomocí interferometrie v bílém světle se používá obvykle Michelsonův interferometr s širokopásmovým zdrojem světla. Předmětem našeho výzkumu bylo zjistit, jakým způsobem závisí nejistota měření interferometrie v bílém světle na parametrech měřicí soustavy. Znalost takové závislosti je důležitá, protože umožňuje správné nastavení parametrů. Podle očekávání roste například nejistota měření s velikostí vzorkovacího kroku. Na druhé straně se ovšem při malém vzorkovacím kroku prodlužuje doba měření. Důležité je, aby parametry měřicí soustavy byly nastaveny optimálně, to znamená tak, aby bylo možné měřit s pokud možno nízkou nejistotou měření, ale aby nevhodně nastavené parametry neprodlužovaly zbytečně dobu měření. Více informací v tiskové zprávě (*.pdf)